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声表面滤波器的发现与历史

来源:http://www.konuaer.com 作者:konuaer 2012年05月05

康华尔电子:是一家专门从从事压电石英晶体研发与生产一体的生产厂商,公司主要以石英晶体,声表面滤波器,声表面谐振器,现简单的给大家介绍一下压电晶体声表面波的发现与历史.在十九世纪八十年代,英国物理学家瑞利(Rayleigh)在研究地震波的过程中偶尔发现了一种能量集中于地表面传播的声波,经过对地震波的研究,从理论上阐明了在各向同性的固体表面上弹性波的特性,从而发现了声表面波(SAW)。
             1949年,贝尔电话实验室发现了LiNbO3单晶,1964年发表了激发弹性表面波平面结构换能器的专利。

1965年,怀特(White)和沃尔特默(Woltmer)发表了题为“一种新型表面波声--电换能器”的论文,取得了声表面波技术的关键性突破,能在压电材料表面激励声表面波的金属叉指换能器 IDT ( Inter-digital Transducer ) 的发明,大大加速了声表面波技术的发展,此后相继出现了许多各具特色的声表面波器件,使这门年轻的学科逐步发展成为一门新兴的、声学和电子学相结合的边缘学科。

            在十九世纪八十年代,英国物理学家瑞利(Rayleigh)在研究地震波的过程中偶尔发现了一种能量集中于地表面传播的声波,经过对地震波的研究,从理论上阐明了在各向同性的固体表面上弹性波的特性,从而发现了声表面波(SAW)。
             1949年,贝尔电话实验室发现了LiNbO3单晶,1964年发表了激发弹性表面波平面结构换能器的专利。

             1965年,怀特(White)和沃尔特默(Woltmer)发表了题为“一种新型表面波声--电换能器”的论文,取得了声表面波技术的关键性突破,能在压电材料表面激励声表面波的金属叉指换能器 IDT ( Inter-digital Transducer ) 的发明,大大加速了声表面波技术的发展,此后相继出现了许多各具特色的声表面波器件,使这门年轻的学科逐步发展成为一门新兴的、声学和电子学相结合的边缘学科。

我国声表面波技术的研究工作始于1970年,只比西方晚三年时间,除了中科院和高等院校外,许多电子元器件工厂也进行研制和生产声表面波器件。 SAW器件自70年代末实际应用以来,现在已遍及军工和民用各方面,大致是:SAW信号处理器件主要应用于军工领域,而频率选择和频率控制SAW器件和SAW传感器则都是军民共用的器件。
1、频率  Frequency
    f=1/t, 单位时间内振动的次数,单位是 Hz。
    λ=ν/f,所以频率越高,波长就越短,反映到工艺上,即频率越高,IDT的指条就越细,目前我们可以做到的频率已达到1.8GHz,线条宽度约为0.6um左右。
2、声表面波  SAW
     Surface Acoustic Wave  声表面波就是在压电基片材料表面产生并传播、且其振幅随深入基片材料的深度增加而迅速减少的弹性波 。

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